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单晶硅生长过程中晶体摇摆和电弧放电的分析和处理设施

发布时间:2019-04-26 00:34:56 文章来源:未来智讯    
赵长富

摘要:随着单晶光伏发电的大规模应用,单晶硅的竞争越来越激烈和凸起,直接控制单晶生产 影响单晶。 成本很高。 然而,单晶硅生产过程中的晶体振荡是Czochralski方法常常呈现的异常外观,并且影响单晶的正常生长,导致单晶生产的成本增加。 从生长机制的角度来看,晶体振荡引起液体。 表面温度的变化导致固液界面的不变性引起跟踪,从而影响单晶的质量和无位错的生长。 从操作控制的角度来看,晶体振荡会使直径变得很难,等待也是不吉利的。 积极掌握晶体生长过程导致生产周期的相对延长,从而增加了生产成本。 分析了实际生产过程中晶体振荡的起因及其对单晶生长的影响,探讨了解决晶体振荡的一些方法来消除这种影响。

关键词:Czochralski法; 水晶; 摆动

中图分类号:TS262.91文献标识码:A文章编号:1671-2064(2018)22-0048-02

随着单晶硅光伏发电的大规模应用 一代,平价政策受政策驱动,单晶成本持续低,单晶硅正朝着高效,高品质,无缺陷的方向发展。 目前,硅单晶的主要生产方式是Czochralski方法。 在这种扁平制造工艺中,晶体振荡对硅单晶的影响不会受到影响,并且晶体振荡将影响生产过程中硅单晶的质量。 同时,增加了硅单晶的位错概率,影响了硅单晶的产率,从而影响了生产效率。

1在单晶拉制过程中产生晶体弧光的原因

晶体电弧在单晶拉丝行业中,每个人的习惯称为电弧。 实际上,这种电弧放电,它分为两种类型:对称摆动和圆周运动,而呈现阶段也不同。 从起点开始有些摆动或弧形,有些是在等直径阶段产生的,不同的长度是可能的,有些是在电弧放电中,无论哪个阶段发生,一旦出现这种外观,对晶体的影响 拉力大,但直径受影响,螺纹断裂,起点重新开始,生产从头开始,这对生产产量有重要影响,造成生产成本。 上升。

1.1摆动的原因

解决晶体拉晶过程中的晶体振荡和电弧放电多年,并分析组合式单晶炉布局的特点。 并且电弧的影响,证据产生振荡和电弧的外观,总结一线维护的经验,多重归纳和验证,使用统计分析方法,分类产生的摆动和电弧,分析晶体摆动和清酒 比例如图1所示。晶体电弧放电的原因和清酒的比例如图2所示。

1.2晶体电弧放电的原因(图2)

2处置措施

银色或弧形外观,从主要搜索开始,在设备上运行当最可能被丢弃时,它是上轴,首先被移除。轴上出现的问题,如果上轴的问题处理不了正常,只能关闭进行处理,在运行时分析时非常接近。 具体分析的详细情况见表1和表。

3运行条件的凭证

在日常生产过程中,大多数电弧和振荡障碍相对不同, 并且可以区分不同的拉晶条件。 障碍物:

(1)摇晃或摆动时摆动:减震套管松动或损坏,外部冲击,氩气流量不均匀,炉体中心和度数,钢丝绳毛刺起重头平衡无效。

(2)早期等直径电弧:晶体膨胀不稳定,晶体提升和飞行精度异常。

(3)等直径后期摆动:蒸发物质堵塞,排气不均匀(石墨毡排气口不平整,排气口未均匀排出)。

(4)间歇性电弧摆动:热系统问题,杆与轴松散连接,热场温度变化大,加热器加热不均匀,液面温度过快 。

4结论

在单晶生长过程中,经常会产生晶体振荡和电弧放电,这将对单晶的质量和生长产生不利影响。 单晶产生了跟踪和处理晶体振荡和电弧放电的有用经验,并结合单晶生长机制,着重于晶体振荡和电弧放电的原因和处理设施,并分析摆动和电弧放电的生产机制。 对单晶生长,位错,直径等质量的影响,为一线生产线的维护和运行提供了参考。 由于我的学位有限,本文仅供参考,如果不是,请理解。

中国科技2018 22

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